双阴极等离子溅射沉积TiC薄膜对金刚石工具性能的影响*

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中国表面工程 ›› 2012, Vol. 25 ›› Issue (5) : 26-30.

表面工程

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Effects of TiC Coating Prepared by Ion Sputtering with Double Cathodes on Properties of Diamond Tools

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ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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