HWCVD与RF-PECVD复合技术制备微晶硅薄膜的性能*

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中国表面工程 ›› 2012, Vol. 25 ›› Issue (4) : 84-88.

表面工程

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Anti-wear and Anti-corrosion Treatment of Cooling Tubes for the Power Plant Boilers

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ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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