
梯度基体温度法和反应溅射TiC过渡层对钛合金基体沉积金刚石薄膜的影响
余志明a, 张益豪a, 魏秋平a, b, 刘丹瑛a, 孟令聪a
中国表面工程 ›› 2012, Vol. 25 ›› Issue (3) : 20-27.
梯度基体温度法和反应溅射TiC过渡层对钛合金基体沉积金刚石薄膜的影响
Sputtered TiC Interlayer on Diamond Films on Ti6AlV4 Alloy by HFCVD
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