氮气流量对中频非平衡反应磁控溅射制备CrAlN薄膜性能的影响

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中国表面工程 ›› 2011, Vol. 24 ›› Issue (4) : 7-12.

表面工程

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Influence of Nitrogen Flows on Properties of CrAlN Film Prepared by Mid–frequency Unbalanced Magnetron Sputtering

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ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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