非平衡磁控溅射沉积类石墨碳膜结构及其摩擦学性能

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中国表面工程 ›› 2011, Vol. 24 ›› Issue (3) : 17-22.

表面工程

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Microstructure and Tribological Properties of Graphitelike Carbon Film Prepared by Unbalanced Magnetron Sputtering

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ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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