氮分压对钕铁硼表面直流磁控溅射沉积AlN/Al防护涂层结构和性能的影响

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中国表面工程 ›› 2010, Vol. 23 ›› Issue (3) : 80-83.

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Effect of Nitrogen Partial Pressure on Structure and Properties of AlN/Al Protective Coatings on NdFeB by DC Magnetron Sputtering

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ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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