靶功率和基体偏压对BCN薄膜成分及结构的影响

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中国表面工程 ›› 2009, Vol. 22 ›› Issue (4) : 26-30.

工程应用

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ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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