等离子增强磁控溅射Ti-Si—C-N基纳米复合膜层耐冲蚀性能研究

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中国表面工程 ›› 2009, Vol. 22 ›› Issue (1) : 1-10.

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ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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