刘燕萍,邢飞,谷海霞
中国表面工程. 2007, 20(5): 19-22.
利用等离子渗金属技术、尖端放电、空心阴极效应和反应气相沉积技术,在碳钢表面形成具有扩散层和沉积层的新型复合渗镀TiN沉积层+TiN析出相+Ti扩散层,并在此基础上用磁控溅射PVD沉积TiB2薄膜,对其耐蚀性、耐磨性进行了检测和分析。结果表明:由于等离子TiN复合渗镀层的均匀性、致密度高于PVD沉积TiB2薄膜,在1mol/LH2S04溶液中耐腐蚀性能是PVD沉积TiB2+等离子TiN复合渗镀层11.7倍。TiB2/TiN复合渗镀层与碳钢基体直接PVD沉积TiB2相比硬度高达2600HV,膜层比较厚,表面光滑、平整薄膜覆盖,膜基结合力也很强,有很好的减磨耐膜性能。说明等离子渗金属技术制备的TiN渗镀复合层不仅具有优异的耐腐蚀性能同时对TiB2陶瓷有着强有力的支撑作用。