用离子源技术制备类金刚石膜研究

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中国表面工程 ›› 2005, Vol. 18 ›› Issue (5) : 16-19.

工程应用

用离子源技术制备类金刚石膜研究

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A Study on Diamond-Like Carbon Film Synthesized by Ion Source Technique

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ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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