乙醇对低磨料CMP过程中铜膜凹凸处去除速率选择性的影响

doi:10.3969/j.issn.1007-9289.2014.02.016

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中国表面工程 ›› 2014, Vol. 27 ›› Issue (2) : 95-101. DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2014.02.016

表面工程

乙醇对低磨料CMP过程中铜膜凹凸处去除速率选择性的影响

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Effect of Ethanol on the Rate Selectivity of Copper Film Concave Position and Convex Position in the CMP Process with Low Abrasive Concentration

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