氮化铝超声振动辅助纳米磨削过程中振幅和频率的微观作用机制：分子动力学研究

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20250226001

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中国表面工程 ›› 2025, Vol. 38 ›› Issue (5) : 119-132. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20250226001

特邀专栏：高端芯片原子级磨抛技术

氮化铝超声振动辅助纳米磨削过程中振幅和频率的微观作用机制：分子动力学研究

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Microscopic Mechanisms of Amplitude and Frequency During Ultrasonic Vibration-assisted Nanogrinding of Aluminium Nitride: A Molecular Dynamics Study

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收稿日期	修回日期	接受日期	出版日期
2025-02-26	2025-05-15	2025-05-30	2025-10-23
发布日期
2025-06-01

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