不同粒径氧化铈磨料对K9玻璃化学机械平坦化性能的影响

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20241226002

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中国表面工程 ›› 2025, Vol. 38 ›› Issue (5) : 107-118. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20241226002

特邀专栏：高端芯片原子级磨抛技术

不同粒径氧化铈磨料对K9玻璃化学机械平坦化性能的影响

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Effect of Cerium Oxide Abrasives with Different Particle Sizes on the Chemical Mechanical Planarization Performance of K9 Glass

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收稿日期	修回日期	接受日期	出版日期
2024-12-26	2025-03-13	2025-03-27	2025-10-23
发布日期
2025-04-16

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