氮化物中间层对碳薄膜结构及摩擦学性能影响研究

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20240422001

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中国表面工程 ›› 2025, Vol. 38 ›› Issue (4) : 208-220. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20240422001

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氮化物中间层对碳薄膜结构及摩擦学性能影响研究

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Study on the Effect of Nitride Interlayer on the Structure and Tribological Properties of Carbon Films

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收稿日期	修回日期	接受日期	出版日期
2024-04-22	2024-05-30	2024-06-24	2025-08-23
发布日期
2025-02-06

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