修整辅助液对固结磨料化学机械抛光单晶SiC材料去除稳定性的影响

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20240417002

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中国表面工程 ›› 2025, Vol. 38 ›› Issue (5) : 301-311. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20240417002

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修整辅助液对固结磨料化学机械抛光单晶SiC材料去除稳定性的影响

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Effect of Conditioning Slurry on Material Removal Stability in Fixed- abrasive Chemical Mechanical Polishing of Single-crystal SiC

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收稿日期	修回日期	接受日期	出版日期
2024-04-17	2024-08-20	2024-09-04	2025-10-23
发布日期
2025-01-08

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