HiPIMS频率对弧辉复合沉积TiZrN/TiN纳米多层膜微观结构和性能的影响

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20240326005

PDF(26840 KB)

中国表面工程 ›› 2025, Vol. 38 ›› Issue (5) : 312-325. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20240326005

技术基础

HiPIMS频率对弧辉复合沉积TiZrN/TiN纳米多层膜微观结构和性能的影响

{{article.zuoZhe_CN}}

作者信息 +

Effects of HiPIMS Frequency on the Microstructure and Properties of TiZrN / TiN Nano-multilayer Film Deposited by a Hybrid Deposition Technique Combining AIP and HiPIMS

{{article.zuoZhe_EN}}

Author information +

文章历史 +

本文亮点

HeighLight

摘要

Abstract

关键词

Key words

本文二维码

引用本文

EndNote

Ris (Procite)

Bibtex

导出引用

{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 2025, 38(5): 312-325 https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20240326005

{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_EN}}, 2025, 38(5): 312-325 https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20240326005

中图分类号：

参考文献

原文顺序 | 文献年度倒序 | 文中引用次数倒序

参考文献

基金

版权

PDF(26840 KB)

Accesses

Citation

Detail

段落导航

收稿日期	修回日期	接受日期	出版日期
2024-03-26	2024-08-18	2025-03-20	2025-10-23
发布日期
2025-09-16

选择文件类型/文献管理软件名称

选择包含的内容