外加辅助阳极的高功率脉冲磁控溅射管内Cr涂层制备及其性能分析

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20240109001

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中国表面工程 ›› 2025, Vol. 38 ›› Issue (1) : 99-106. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20240109001

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外加辅助阳极的高功率脉冲磁控溅射管内Cr涂层制备及其性能分析

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Preparation and Surface Properties of Cr Coatings in High-power Pulsed Magnetron Sputtering Tubes with External Auxiliary Anode

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收稿日期	修回日期	接受日期	出版日期
2024-01-09	2024-10-21	2024-10-22	2025-02-23
发布日期
2025-04-03

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