退火温度对DLC和Si-DLC涂层微观结构和摩擦学性能的影响

周琼, 岗志远, 黄彪, 张而耕, 陈强, 梁丹丹, 李正美

中国表面工程 ›› 2024, Vol. 37 ›› Issue (4) : 206-217.

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中国表面工程 ›› 2024, Vol. 37 ›› Issue (4) : 206-217. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20231102001
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退火温度对DLC和Si-DLC涂层微观结构和摩擦学性能的影响

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Effect of Annealing Temperature on Microstructure and Tribological Properties of DLC and Si-DLC Coatings

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