基于Cr-O-C钝化层改变多晶Cu表面能和表层位错的脱模力与脱模精度

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20230308002

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中国表面工程 ›› 2024, Vol. 37 ›› Issue (1) : 205-215. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20230308002

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基于Cr-O-C钝化层改变多晶Cu表面能和表层位错的脱模力与脱模精度

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Demolding Strength and Demolding Accuracy Based on Surface Energy and Surface Layer Dislocations of Polycrystalline Cu Changed by Cr-O-C Passivation Layers

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收稿日期	修回日期	出版日期
2023-03-08	2023-07-06	2024-02-20
发布日期
2024-02-20

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