Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub>工程陶瓷基底金刚石涂层生长规律及性能

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20220518001

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中国表面工程 ›› 2024, Vol. 37 ›› Issue (1) : 179-191. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20220518001

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Si₃N₄工程陶瓷基底金刚石涂层生长规律及性能

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Growth and Properties of Diamond Films on Si₃N₄ Ceramic Substrates

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收稿日期	修回日期	出版日期
2022-05-18	2022-11-21	2024-02-20
发布日期
2024-02-20

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