Mo和C含量对AlCrN薄膜组织和性能的影响

施杰，陈云，刘浩，康建军，李潇阳，张丽，鲜广，杜昊

中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (6) : 286-296.

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中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (6) : 286-296. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20220411004

Mo和C含量对AlCrN薄膜组织和性能的影响

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Effect of Mo and C Contents on the Crystal Structure and Properties of AlCrN Films

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