磁控溅射CuCrMo薄膜耐126kV20kA电弧烧蚀性能

苗晓军，范艳艳，钱旦，李雁淮，宋忠孝，庞亚娟，郝留成

中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (4) : 238-247.

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中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (4) : 238-247. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20211226001
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磁控溅射CuCrMo薄膜耐126kV20kA电弧烧蚀性能

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126 kV 20 kA Arc Erosion Resistance of CuCrMo Film Prepared by Magnetron Sputtering

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