脉冲电压对内花键齿Si-DLC薄膜微观结构及性能的影响

徐天杨，詹华，张艳静，吴佳亿，汪瑞军

中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (6) : 257-265.

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中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (6) : 257-265. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20211223002

脉冲电压对内花键齿Si-DLC薄膜微观结构及性能的影响

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Effects of Pulse Voltage on Microstructure and Properties for Si-DLC Films on Internal Spline Tooth

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