镀铝衍射光栅表面有机污染物的等离子体清洗技术*

孙浩，白清顺，李玉海，张鹏，杜云龙

中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (3) : 235-244.

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中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (3) : 235-244. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20211111004
研究论文

镀铝衍射光栅表面有机污染物的等离子体清洗技术*

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Plasma Cleaning Technology of Organic Pollutants on Aluminized Diffraction Grating Surface

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