高功率脉冲磁控溅射技术制备纳米级ZrO<sub>2</sub>薄膜的高耐腐蚀性

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20211107001

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中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (3) : 203-213. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20211107001

研究论文

高功率脉冲磁控溅射技术制备纳米级ZrO₂薄膜的高耐腐蚀性

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Corrosion Resistance of ZrO₂ Coating Prepared by High Power Impulse Magnetron Sputtering

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