同步脉冲偏压对HiPIMS技术低温沉积CrN涂层结构及性能影响*

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20210924004

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中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (3) : 226-234. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20210924004

研究论文

同步脉冲偏压对HiPIMS技术低温沉积CrN涂层结构及性能影响*

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Effects of Synchronized Pulsed-bias on Microstructure and Properties of CrN Coatings Prepared by HiPIMS at Low Temperature

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