沉积气压与脉冲频率对内花键齿表面Si-DLC薄膜性能的影响

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20210902001

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中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (2) : 243-252. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20210902001

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沉积气压与脉冲频率对内花键齿表面Si-DLC薄膜性能的影响

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Effects of Deposition Pressure and Pulse Frequency on Properties for Si-DLC Films Prepared on Surface of Internal Spline Tooth

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