沉积温度对AlCrTiN涂层组织结构与性能的影响∗

林静，张硕，马德政，范其香，王铁钢，曹凤婷

中国表面工程 ›› 2021, Vol. 34 ›› Issue (6) : 114-123.

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中国表面工程 ›› 2021, Vol. 34 ›› Issue (6) : 114-123. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20210709001
研究论文

沉积温度对AlCrTiN涂层组织结构与性能的影响∗

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Effects of Deposition Temperature on the Structure and Property of AlCrTiN Coatings

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