元素掺杂对类金刚石薄膜摩擦学性能的影响∗

郭培林，贾倩，孟树文，刘广桥，赖振国，文欣宇，张斌

中国表面工程 ›› 2021, Vol. 34 ›› Issue (4) : 19-29.

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中国表面工程 ›› 2021, Vol. 34 ›› Issue (4) : 19-29. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20210324002
综述论文

元素掺杂对类金刚石薄膜摩擦学性能的影响∗

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Effect of Element Doping on the Tribological Properties of Diamond-like Carbon Films

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