调制比对HiPIMS制备多层DLC薄膜耐腐蚀性能的影响∗

贾昆鹏，王雪，徐锋，施莉莉，赵延超，左敦稳

中国表面工程 ›› 2021, Vol. 34 ›› Issue (2) : 35-40.

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中国表面工程 ›› 2021, Vol. 34 ›› Issue (2) : 35-40. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20210108001

调制比对HiPIMS制备多层DLC薄膜耐腐蚀性能的影响∗

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Effects of Modulation Ratio on Corrosion Resistance of Multilayer DLC Films Prepared by HiPIMS

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