GLC/成分梯度CNx多层膜的微观结构和摩擦学性能

杨芳儿，陆诗慧，杨烁妍，高蔓斌，郑晓华

中国表面工程 ›› 2020, Vol. 33 ›› Issue (6) : 68-76.

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中国表面工程 ›› 2020, Vol. 33 ›› Issue (6) : 68-76. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20201013001
表面工程

GLC/成分梯度CNx多层膜的微观结构和摩擦学性能

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Microstructure and Tribological Properties of Magnetron Sputtered Graphite-Like-Carbon / Composition-Gradient CNx Multilayer Films

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