工作气压对TiBN/TiAlSiN纳米多层涂层的结构和性能影响

王泽松，韩滨，项燕雄，田灿鑫，邹长伟，付德君

中国表面工程 ›› 2020, Vol. 33 ›› Issue (6) : 77-85.

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中国表面工程 ›› 2020, Vol. 33 ›› Issue (6) : 77-85. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20200911001
表面工程

工作气压对TiBN/TiAlSiN纳米多层涂层的结构和性能影响

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Effects of Working Pressure on Microstructure and Properties of TiBN/ TiAlSiN Nano-multilayer Coatings

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