负偏压和本底真空度对Al膜表面形貌和耐蚀性能的影响

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20200721001

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中国表面工程 ›› 2020, Vol. 33 ›› Issue (4) : 128-135. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20200721001

表面工程

负偏压和本底真空度对Al膜表面形貌和耐蚀性能的影响

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Effects of Negative Bias Voltage and Base Vacuum Degree on Surface Morphology and Corrosion Resistance of Al Coatings

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