O<sub>2</sub>/Ar流量比及退火对氧化锆薄膜结构及摩擦学性能的影响

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20200715001

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中国表面工程 ›› 2020, Vol. 33 ›› Issue (5) : 65-74. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20200715001

表面工程

O₂/Ar流量比及退火对氧化锆薄膜结构及摩擦学性能的影响

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Effects of O₂ / Ar Flow Ratios and Annealing Treatment on Microstructures and Tribological Properties of Zirconia Films

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