氮气对纳米金刚石膜的生长结构及晶界处H含量的影响

王振湉，翁俊，汪建华，刘繁

中国表面工程 ›› 2020, Vol. 33 ›› Issue (1) : 39-46.

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中国表面工程 ›› 2020, Vol. 33 ›› Issue (1) : 39-46. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20190616001

氮气对纳米金刚石膜的生长结构及晶界处H含量的影响

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Effects of N2 on Growth Structure and Amount of H in Grain Boundaries of Nanocrystalline Diamond Films

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