偏压对自源笼形空心阴极放电制备Si-DLC薄膜结构和性能的影响

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20190114002

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中国表面工程 ›› 2019, Vol. 32 ›› Issue (3) : 69-79. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20190114002

表面工程

偏压对自源笼形空心阴极放电制备Si-DLC薄膜结构和性能的影响

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Effects of Bias Voltage on Structure and Property of Si-DLC Films Fabricated by Self-source Cage Type Hollow Cathode Discharge Process

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