偏压对离子源辅助HiPIMS制备纳米TiN薄膜力学性能和耐蚀性能的影响

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20180906002

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中国表面工程 ›› 2019, Vol. 32 ›› Issue (1) : 63-71. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20180906002

表面工程

偏压对离子源辅助HiPIMS制备纳米TiN薄膜力学性能和耐蚀性能的影响

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Effects of Bias Voltage on Mechanical Properties and Corrosion Resistance of TiN Nanostructure Films Prepared by Ion Source Assisted HiPIMS

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