沉积温度对钢球表面含氢碳薄膜结构和摩擦学性能的影响

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20180213001

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中国表面工程 ›› 2018, Vol. 31 ›› Issue (4) : 113-121. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20180213001

表面工程

沉积温度对钢球表面含氢碳薄膜结构和摩擦学性能的影响

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Effects of Deposition Temperature on Structure and Tribological Properties of Hydrogenated Carbon Films on Steel Balls

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