基体温度对反应共溅射TiN/Ni纳米复合膜结构和耐蚀性的影响

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20170929002

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中国表面工程 ›› 2018, Vol. 31 ›› Issue (2) : 85-93. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20170929002

表面工程

基体温度对反应共溅射TiN/Ni纳米复合膜结构和耐蚀性的影响

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Effects of Substrate Temperature on Microstructure and Corrosion Resistance of Reactive Magnetron Co-sputtered TiN/Ni Nanocomposite Films

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