CNx层厚度对DLC/CNx多层膜结构和力学性能的影响

杨芳儿,常新新,林玲玲,龚润泽,周小峰,郑晓华

中国表面工程 ›› 2018, Vol. 31 ›› Issue (2) : 66-74.

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中国表面工程 ›› 2018, Vol. 31 ›› Issue (2) : 66-74. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20170823002
表面工程

CNx层厚度对DLC/CNx多层膜结构和力学性能的影响

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Effects of Single Layer Thickness of CNx on Microstructure and Mechanical Properties of DLC/CNx Multilayer Films

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