退火处理对WC-DLC薄膜结构及性能的影响

刘正兵,周升国,吴杨敏,王顺才

中国表面工程 ›› 2017, Vol. 30 ›› Issue (3) : 16-24.

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中国表面工程 ›› 2017, Vol. 30 ›› Issue (3) : 16-24. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20161117005
表面工程

退火处理对WC-DLC薄膜结构及性能的影响

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Effects of Annealed Treatment on Structure and Performance of WC-DLC Films

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