中频-直流磁控溅射铝涂层微米压入特性及低温循环性能

陈亚军,黄彦,胡隆伟,郁佳琪

中国表面工程 ›› 2017, Vol. 30 ›› Issue (1) : 83-92.

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中国表面工程 ›› 2017, Vol. 30 ›› Issue (1) : 83-92. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20161008001
表面工程

中频-直流磁控溅射铝涂层微米压入特性及低温循环性能

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Micro-indentation and Low-temperature Cyclic Properties of Aluminum Coating Prepared by MF-DC Magnetron Sputtering

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