含硅无氢非晶碳基薄膜的摩擦磨损性能

王福,谢明玲,张广安,王立平,薛群基

中国表面工程 ›› 2017, Vol. 30 ›› Issue (1) : 93-100.

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中国表面工程 ›› 2017, Vol. 30 ›› Issue (1) : 93-100. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20160907001
表面工程

含硅无氢非晶碳基薄膜的摩擦磨损性能

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Friction and Wear Properties of Si-containing H-free Amorphous Carbon-based Films

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