脉冲峰值电流对HIPIMS/DCMS共沉积制备AlCrTiN涂层性能的影响

贵宾华,周晖,郑军,张延帅,杨拉毛草

中国表面工程 ›› 2016, Vol. 29 ›› Issue (5) : 56-65.

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中国表面工程 ›› 2016, Vol. 29 ›› Issue (5) : 56-65. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2016.05.007
表面工程

脉冲峰值电流对HIPIMS/DCMS共沉积制备AlCrTiN涂层性能的影响

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Effects of Peak Target Current on Properties of AlCrTiN Coatings Prepared by HIPIMS/DCMS

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