多弧离子镀沉积Ti/TiN多层薄膜的摩擦磨损及电化学性能

史鑫,戴剑锋,吴贵智,张广安,陈建敏

中国表面工程 ›› 2016, Vol. 29 ›› Issue (3) : 20-25.

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中国表面工程 ›› 2016, Vol. 29 ›› Issue (3) : 20-25. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2016.03.003
表面工程

多弧离子镀沉积Ti/TiN多层薄膜的摩擦磨损及电化学性能

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Tribological and Electrochemical Properties of Ti/TiN Multilayer Film Prepared by Multi-arc Ion Plating

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