类富勒烯/非晶多层碳膜的制备及性能

刘广桥， 董丽梅， 张俊彦

中国表面工程 ›› 2016, Vol. 29 ›› Issue (1) : 51-57.

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中国表面工程 ›› 2016, Vol. 29 ›› Issue (1) : 51-57. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2016.01.008
表面工程

类富勒烯/非晶多层碳膜的制备及性能

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Preparation and Properties of Fullerene-like/Amorphous Multilayer Carbon-based Film

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