疏水性安全壳壁面的硅表面微孔结构制备

赵维， 樊焕然， 杨林， 杜王芳

中国表面工程 ›› 2015, Vol. 28 ›› Issue (3) : 90-95.

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中国表面工程 ›› 2015, Vol. 28 ›› Issue (3) : 90-95. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2015.03.014
表面工程

疏水性安全壳壁面的硅表面微孔结构制备

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Fabrication of Porous Microstructures on Si for Hydrophobic Containment Vessel Surface

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