TFT-LCD玻璃基板精细雾化抛光的工艺参数优化

莫益栋， 李庆忠

中国表面工程 ›› 2015, Vol. 28 ›› Issue (2) : 121-125.

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中国表面工程 ›› 2015, Vol. 28 ›› Issue (2) : 121-125. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2015.02.014
表面工程

TFT-LCD玻璃基板精细雾化抛光的工艺参数优化

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Optimizing Process Parameters of Ultrasound Fine Atomization CMP on TFT-LCD Glass Substrate

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