H2/CH4流量比对含氢DLC薄膜结构及摩擦学性能的影响

吴金龙， 周晖， 郑军， 杨拉毛草， 张延帅， 胡汉军

中国表面工程 ›› 2015, Vol. 28 ›› Issue (1) : 42-48.

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中国表面工程 ›› 2015, Vol. 28 ›› Issue (1) : 42-48. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2015.01.007
表面工程

H2/CH4流量比对含氢DLC薄膜结构及摩擦学性能的影响

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Effects of Flow Ratio of H2 and CH4 on Structure and Friction Properties of Hydrogen Diamond-like Carbon Films

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