TiAlN/Ta多层膜的力学性能及热稳定性取得新进展

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.2014.06.018

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中国表面工程 ›› 2014, Vol. 27 ›› Issue (6) : 141-141. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2014.06.018

中国学者海外论文摘要

TiAlN/Ta多层膜的力学性能及热稳定性取得新进展

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Mechanical Properties and Thermal Stability of TiAlN/Ta Multilayer Film Deposited by Ion Beam Assisted Deposition Obtains New Progress

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